■大幅度減低了振動的TG-ML系列
?半導體制造工藝已經步入到 進一步的「微小化」，「高度集成化」。并且，在分析，測量，檢查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。對于實現微細加工以及微細領域的一些測量分析來說，即便提升了設備的控制技術，振動會直接影響產品的檢測工藝。因此，真空泵作為設備的元件，減振成為重要的課題。
■TG-ML系列的振動特性
?*把真空泵泵體的振動值*的控制在1nm以內！  ※本公司的測定方法
?如果安裝減振器，還可以再把振動值降低一個數量級！