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ULVAC愛發科 機械增壓泵 PMB100D

發布時間:2025/06/30 15:16:28 發布廠商:高斯摩(成都)國際貿易有限公司 >> 進入該公司展臺

ULVAC愛發科 機械增壓泵 PMB100D

ULVAC愛發科 機械增壓泵 PMB100D

機械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。

通過與油旋轉真空泵或干泵等粗抽泵組合使用,在粗抽泵抽速下降的壓力范圍內,可以顯著提高粗抽泵的抽速。

應用于半導體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞測試、太空探測、真空浸漬、真空干燥等眾多領域。

ULVAC愛發科 機械增壓泵 PMB100D

通用型機械式增壓泵

“型號:PMB Ver.D”是通用型機械式增壓泵。

可選擇可選的表面處理和常壓驅動類型,也可以進行風冷運行。

長處

配備用于空氣冷卻的變頻器,可在整個壓力范圍內進行風冷作。

由于它與可從多電壓電機(200V 級、多電壓)中選擇的通用電機兼容,

因此也可以安裝防爆電機(可選)。

表面處理具有優異的耐腐蝕性(選項:T 型)

主要部件經過陽極氧化處理,表面硬度高,耐腐蝕性優異。 減少泵內部的劃痕和腐蝕。

由于可以同時使用常壓驅動型(選項:變頻器)

粗抽泵同時啟動,可有效縮短排氣時間,因此與標準型相比,可以縮短排氣時間。

除了針對特殊應用的標準可選支持

外,還提供用于特殊應用的型號。

氣相沉積、濺射、離子鍍

真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

分析儀器, 泄漏測試設備

氣體置換、填充、真空絕熱

熱處理爐、熔煉爐

其他真空設備

規范

型號 *1
PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D
*抽速 50 赫茲 m3/h
(升/分鐘)
95
(1,580)
280
(4,670)
500
(8,330)
1,000
(16,667)
2,000
(33330)
2,500
(41,667)
60 赫茲 115
(1,920)
330
(5,500)
600
(10,000)
1200
(20,000)
2,400
(40,000)
3,100
(51,667)
*吸入壓力 50 赫茲 9.3×103 1,2×103 1.3×103 2.0×103/8.0×102
60 赫茲 6.2×103 9.3×102 1,1×103 1.5×103/6.7×102
*允許壓差 50 赫茲 8.0×10 元3 4.0×103 7.3×103 3.5×103/4.7×103
60 赫茲 5,6×103 3.3×103 6.0×103 3.0×103/4.7×103
極限壓力 *2 4.0×10-1 6,7×10-1
可驅動壓力 ~1.0×105 (常壓驅動)
電機
*3
電機功率
(位數)
kW
(位數)
0.4(2) 0.75(2) 2.2(2) 3.7(2) 7.5(2)
200V 級
電機
50 赫茲 V 200
60 赫茲 200/220
多電壓

電機
50 赫茲 V 220~240/380~415°C 200~240/380~415°C
60 赫茲 208~240/380~460°C 200~240/380~460°C
使用油 *4 ULVOIL R-42
所需油量 L 0.35 0.7 1.5 1.9 4
冷卻系統 *5 風冷 風冷/水冷
冷卻水 入口壓力 Mpa 0.3
入口壓差 Mpa 0.05
冷卻水量 升/分鐘 2 3
冷卻水溫度 *6 °C 5~30
進氣口 JIS-B-2290 VG50 等效值 VG80 等效值 VG100 等效值 VG200 等效值
排氣孔 JIS-B-2290 相當于 VF50 相當于 VF80 相當于 VF200
質量 公斤 26 51 82 115 260
標準輔助泵 VD40C 系列 VD60C 系列 VD90C 系列 VS2401 系列 PKS-070B
系列
VS650B 系列
國際標準 CE、cTUVus

常壓驅動逆變器規格 /
電壓兼容
200V
I2,A2/200V~240V(50Hz/60Hz) *8
400V
I4,A4/380V~480V(50Hz/60Hz) *8

ULVAC愛發科
機械增壓泵
PMB100D
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