ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 RDA-501H

ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 RDA-501H

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

通過在低溫范圍內平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。

長處

實現與干式和油動力旋轉真空泵相同的性能水平。

它可以在從大氣壓到到達的所有壓力區域運行。

耐水蒸氣。

無需冷卻水。

一個型號可支持單相和三相電源。

沒有滑動部件，使用壽命長。

用法說明

1

吸入粉末、產品可能會損壞泵。

請使用吸塵器。

2

吸入爆炸性、易燃性、有毒、腐蝕性和有機溶劑氣體等有害氣體可能會因氣體本身、爆炸、著火等原因導致泵故障。

3

該泵僅供室內使用。

請勿將產品安裝在會暴露在雨中或水中的地方，或安裝在室外。

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。