ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 ES10 -LR1800

ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 ES10 -LR1800

多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來(lái)提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見(jiàn)的泵是羅茨干式真空泵。

“Model：ECO-SHOCK”是一個(gè)劃時(shí)代的附件，當(dāng)連接到您當(dāng)前的干式真空泵時(shí)
，它可以顯著節(jié)省干泵的能源。
長(zhǎng)處
有助于節(jié)能將干式真空泵的功耗降低
高達(dá) 80%（與本公司相比），
還具有抑制干泵發(fā)熱的作用，可降低空調(diào)設(shè)備的功耗。
* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。
提高干泵的性能提高極限壓力性能降低
排氣噪音降低排氣速度在連續(xù)運(yùn)行時(shí)間不過(guò)
1000 Pa 的應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)
高效率
*可安裝在排氣口抽真空沒(méi)有問(wèn)題的干泵上。
易于安裝
用
干式真空泵用于抽空空氣、氮?dú)夂蜌鍤獾榷栊詺怏w
用于濺射制備室和取出室的干式真空泵
ES4A 系列
我們的泵類型
LR1800 系列
LR3601-R
抽速 *1
機(jī)械增壓泵
1784 米3/小時(shí)（29700 升/分鐘）
3200米3/小時(shí)（53333 升/分鐘）
干式泵
237 米3/小時(shí)（3950 升/分鐘）
440 米3/小時(shí)（7333 升/分鐘）
平均功耗
*2 *3
極限壓力運(yùn)行期間
沒(méi)有
6.0 千瓦
7.8 千瓦
使用 ES4A
2.7 千瓦
3.2 千瓦
降低率
55 %
59 %
重復(fù)排氣 *4
沒(méi)有
7.2 千瓦
9.6 千瓦
使用 ES4A
5.7 千瓦
6.3 千瓦
降低率
21 %
34 %

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車(chē)、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。